24:621.039 К содержанию ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫЙ КОНТРОЛЬ КЕРАМИЧЕСКИХ КОЛЕЦ А. В. <...> Белобородов, А. А. Гущина, П. С. Завьялов, Е. С. Сенченко, Л. В. Финогенов, Ю. В. Чугуй Представлены результаты разработки оптико-электронной установки для бесконтактного контроля размеров изделий из вакуумной керамики, в том числе c металлизированной поверхностью. <...> Установка позволяет измерять и контролировать следующие геометрические параметры кольцевых изделий: внутренний и наружный диаметры, соосность цилиндрических поверхностей, высоту, плоскостность и параллельность торцевых поверхностей с погрешностью 5—10 мкм (в зависимости от параметра), а также наличие дефектов — сколов на кромках. <...> Ключевые слова: керамические кольца, теневой метод, структурное освещение, дифракционный оптический элемент, телецентрический объектив. <...> При этом контроль размеров осуществляется традиционным для таких операций контактным методом с помощью микрометров и калибров. <...> Кроме того, в процессе контроля тонких колец при взаимодействии с измерительным инструментом происходит упругая деформация изделий, приводящая в некоторых случаях к погрешности измерений в десятки микрометров и, как следствие, к неправильному контролю. <...> С целью исключения указанных недостатков контроля в КТИ НП СО РАН разработана оптико-электронная установка для бесконтактного контроля размеров изделий из вакуумной керамики, в том числе c металлизированной поверхностью. <...> Установка позволяет измерять и контролировать следующие геометрические параметры кольцевых изделий: внутренний и наружный диаметры, соосность цилиндрических поверхностей, высоту, плоскостность и параллельность торцевых поверхностей с погрешностью 5—10 мкм (в зависимости от параметра), а также наличие дефектов — сколов на кромках. <...> ОПТИЧЕСКАЯ СХЕМА УСТАНОВКИ Принцип измерения размеров кольцевых изделий поясняется оптической схемой, приведенной на рис. <...> Работа установки основана на следующих <...>