УДК 621.382 АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕНСОРНОГО ЕМКОСТНОГО ЭКРАНА А. А. <...> Демин, Д. С. Терентьев Исследованы и проанализированы технологические процессы микроэлектроники, обеспечивающие создание электронных устройств сенсорного ввода информации, работающих на емкостном и резистивном принципах построения. <...> Сформулированы проблемы существующих микроэлектронных технологий и предложен новый, альтернативный способ производства микроэлектронных емкостных сенсорных экранов. <...> Предложены результаты исследований, позволяющие в 6—8 раз снизить технологическую себестоимость емкостного сенсорного экрана, повысить его надежность до 1 млрд прикосновений и светопропускаемость свыше 92 %. <...> На основе последних микроэлектронных технологий предложен способ формирования слоев сенсорной панели, операции которого могут протекать при температурах, меньших в 1,5—2 раза, чем в случае традиционной технологии. <...> Ключевые слова: сенсорные экраны, технология ITO, себестоимость, резистивная и емкостная технологии изготовления. <...> ВВЕДЕНИЕ По состоянию на начало 2013 г. сенсорный экран стал одним из самых дорогих периферийных компонентов в мобильных электронно-вычислительных устройствах — смартфонах, мобильных телефонах и т. п. <...> И чем больше массово-габаритные характеристики этого устройства, тем выше размер диагонали сенсорного экрана и доля дисплея в формировании общей стоимости устройства. <...> Кроме того, это связано со сложностью формы необходимых элементов в конструкции сенсорных экранов, необходимостью в проведении большого числа операций [2]. <...> Задача микроминиатюризации и снижения себестоимости сенсорных элементов ввода информации особенно актуальна именно для мобильной электроники, в которой на данный момент применяются в основном резистивные и емкостные сенсорные экраны. <...> Первые основаны на изменении электрическо56 го сопротивления контактирующих при прикосновении к экрану резистивных пленок <...>