К 75-летию кафедры “Проектирование и технология производства электронной аппаратуры” МГТУ им. <...> Н. Э. Баумана Предлагаемая читателям подборка статей приурочена к 75-летию кафедры “Проектирование и технология производства электронной аппаратуры” МГТУ им. <...> Полученные результаты являются фундаментальной основой для реализации сенсорных сетей нового поколения. <...> УДК 621.821.8.681.586`326:001.57 К содержанию МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ ГИБРИДНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ1 К. А. Андреев, Ю. Н. Тиняков, В. А. Шахнов Исследуются прикладные вопросы реализации новых поколений чувствительных элементов датчиков давления, вопросы их защиты от электромагнитных помех, самодиагностики, взрывобезопасного исполнения и т. д. <...> Основное внимание уделяется моделям чувствительных элементов преобразователей на основе интеграции объемного кремния, кремниевых и микроэлектронных элементов и наноструктурированных материалов. <...> Полученные результаты будут использованы для реализации интеллектуальных и энергоэффективных сенсорных сетей нового поколения. <...> ВВЕДЕНИЕ В данной работе представлены результаты прикладных исследований гибридных чувствительных элементов датчиков давления (объемного кремния, кремниевой мембраны, контактных площадок и металлизации, углеродных нанотрубок с размерами 1,5.50 нм и резисторов на основе легированных областей кремния) и свойств углеродных микро- и наноструктур как компонентов гибридных чувствительных элементов. <...> Исследованы такие свойства нанотрубок как свободный транспорт электронов; степень делокализации электронов в зависимости от длины нанотрубки; степень проводимости и возможности раскачки кремневых чувствительных элементов; вид (однослойная, 1 Работа выполнена в рамках НИОКР по государственному заданию 7.6161.2011 “Гибридные чувствительные элементы интеллектуальных сенсоров распределенных управляющих систем”. <...> 2 Sensors & Systems · ¹ 9.2013 многослойная); количество (единственная <...>