Геннадий Георгиевич Стецюра — д-р техн. наук, гл. научн. сотрудник; (495) 334-78-31 E-mail: stetsura@ipu.ru Владимир Владимирович Соколов — ст. научн. сотрудник. <...> Афонин Представлены статические и динамические характеристики многослойных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений с параллельным и кодовым управлением при продольном и поперечном пьезоэффектах. <...> Ключевые слова: многослойные пьезоактюаторы, нано- и микроперемещения, деформация, статические и динамические характеристики, параллельное и кодовое управление. <...> Пьезоактюаторы (ПА) для нано- и микроперемещений широко применяются в нанотехнологии, нанобиологии и ряде других областей. <...> Работают ПА на основе обратного пьезоэффекта: перемещение достигается в результате деформации пьезоэлементов при приложении внешнего электрического напряжения. <...> Увеличение диапазона перемещения до десятков и сотен микрометров достигается в многослойных (составных, пакетных, блочных) пьезоактюаторах (МПА), являющихся одними из наиболее перспективных двигателей нано- и микроперемещений, например, для совмещения и сканирования в электронных, зондовых, атомно-силовых микроскопах [1—6]. <...> Актуально также обеспечение высокой точности кодового управления деформацией МПА, позволяющего эффективно использовать электромеханическое цифроаналоговое преобразование. <...> ПА для приводов нано- и микроперемещений имеют: диапазон перемещения от нескольких нанометров до сотен микрометров; чувствительность менее 1 нм/В; нагрузочную способность до 10000 Н; мощность на выходном валу до 100 Вт; полосу пропускания до 100 герц; диапазон пере38 Sensors & Systems · ¹ 8.2013 мещений от единиц нанометров до сотен микрометров. <...> В отличие от простого ПА, в статике без нагрузки МПА имеет увеличенный в n раз диапазон перемещения (n — число пьезослоев). <...> Конструктивно МПА в зависимости от технологии изготовления может быть выполнен в виде: составного пьезопреобразователя из отдельных упруго поджатых пьезопластин; пакетного <...>