УДК 537.311.322 ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ПЕРЕХОДОВ ZnO—ZnO:Fe К ПАРАМ ЭТАНОЛА И. А. <...> Пронин, И. А. Аверин, Д. Ц. Димитров, В. А. Мошников Исследована чувствительность к парам этанола гомопереходов на основе наноструктуруированных слоев ZnO—ZnO:Fe, полученных с помощью золь-гель-технологии. <...> В качестве отклика измерялась термоЭДС виртуальной термопары, горячий конец которой представляет собой контакт ZnO/ZnO:Fe. <...> Выяснено, что максимальной чувствительностью обладают образцы, верхний слой которых сформирован двумя и тремя погружениями в золь. <...> Тенденция температурной зависимости отклика существенно зависит от толщины верхнего слоя. <...> Ключевые слова: наноструктурированные тонкие пленки ZnO, ZnO допированный Fe, газовый сенсор. <...> Снижение рабочих температур и повышение чувствительности и селективности — одни из основных задач современной газовой сенсорики [1]. <...> В настоящее время промышленностью выпускаются сенсоры, полученные методами с использованием определенного уровня вакуума в рабочей камере, например, метода магнетронного распыления [2—5]. <...> В качестве альтернативы традиционным методам перспективны методы золь-гель-технологии, использующие при формировании газочувствительных слоев как операции центрифугирования, так и окунания [6]. <...> Достоинством золь-гель методов для получения газочувствительных сенсоров является возможность получения сетчатых иерархических структур с геометрическими размерами ветвей, соизмеримых со значением дебаевской длины экранирования [7]. <...> При этом обеспечивается высокая равномерность распределения чувствительных наноэлементов иерархических структур по поверхности адсорбента [8]. <...> Однако, электрические измерения образцов ZnO:Fe [13] показывают, что концентрация носителей заряда при уровне легирования железом в 1 ат. % возрастает с 2,76•1018 до 3,92•1019 см–3. <...> В работе [14] экспериментально установлено, что допирование железом тонкой пленки ZnO способствует высокой чувствительности к этанолу (>70) при комнатной <...>