УДК 534.511.1.681.785.235 ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ В ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ И МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ СПЕКТРОМЕТРОВ С ПЗС-ФОТОПРИЕМНИКАМИ Д. К. <...> Кострин, А. А. Ухов Показано, что нанесение на поверхность фотоприемника на основе ПЗС при его использовании в спектрометре, выполненном по схеме полихроматора, дополнительной пленки с показателем преломления, близким к диоксиду кремния, значительно уменьшает эффект интерференции. <...> Проведено сравнение спектров излучения различных источников до и после модификации ПЗС-фотоприемника. <...> В настоящее время наибольшее распространение получили оптические спектрометры, выполненные по схеме полихроматора с вогнутой дифракционной решеткой и линейным фотоприемником на основе прибора с зарядовой связью (ФПЗС). <...> При минимальном числе отражающих элементов однокаскадная схема обладает высокой устойчивостью к вибрациям и характеризуется достаточной эффективностью в ультрафиолетовой области, где коэффициент отражения зеркальных покрытий значительно снижается. <...> ФПЗС в значительной мере определяет характеристики и стоимость спектрометра. <...> Самыми популярными (и наиболее дешевыми) являются ФПЗС, выполненные по “классической” технологии. <...> В них оптическое излучение вводится с лицевой стороны кристалла кремния и достигает секции накопления, преодолевая одну или несколько пленок диоксида кремния. <...> Толщина данной диэлектрической пленки соизмерима с длиной волны излучения и при монохроматическом освещении это приводит к возникновению интерференции. <...> В оптической схеме полихроматора каждому пикселю ФПЗС соответствует своя длина волны монохроматического излучения, что при освещении входной щели прибора излучением со сплошным спектром создает периодическую модуляцию огибающей спектра в выходном сигнале ФПЗС [1]. <...> Спектр галогенной лампы, полученный с помощью спектрометра на основе широко распространенного ФПЗС TCD1304 (фирмы Toshiba) приведен на рис. <...> Периодическая модуляция является <...>