Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 637282)
Контекстум
Электро-2024
Датчики и системы. Sensors & Systems  / №2 (165) 2013

АНАЛИЗ МЕТОДОВ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ СВАРКИ КРЕМНИЯ И СТЕКЛА ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ВЫСОКОТОЧНЫХ ДАТЧИКОВ (150,00 руб.)

0   0
Первый авторАндреев
АвторыМилешин С.А., Цивинская Т.А.
Страниц5
ID599031
АннотацияПредставлен способ формирования интегральных чувствительных элементов на основе монокристаллического кремния. Основное внимание уделено применению методов электростатической сварки для получения мембран преобразователя, обладающих высокой чувствительностью к напряжениям, возникающим в материалах конструктивных элементов, при минимизации погрешностей параметров датчика
УДК621.791.052.621.3.032.262.2
Андреев, К.А. АНАЛИЗ МЕТОДОВ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ СВАРКИ КРЕМНИЯ И СТЕКЛА ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ВЫСОКОТОЧНЫХ ДАТЧИКОВ / К.А. Андреев, С.А. Милешин, Т.А. Цивинская // Датчики и системы. Sensors & Systems .— 2013 .— №2 (165) .— С. 47-51 .— URL: https://rucont.ru/efd/599031 (дата обращения: 31.05.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

В результате анализа существующих результатов исследований дневной динамики изменения загрязняющих воздух окислителей типа О3 и NO2 сделан вывод об инверсном характере изменения этих загрязнителей в зонах интенсивного движения автотранспорта в период времени от 900 до 2100. <...> Temporal and Spatial Variations of NOx and ozone concentrations in Seoul during the Solar Eclipse of 22 July 2009 // Journal of applied meteorology and climatology. <...> E-mail: asadzade@rambler.ru  УДК 621.791.052.621.3.032.262.2 К содержанию АНАЛИЗ МЕТОДОВ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ СВАРКИ КРЕМНИЯ И СТЕКЛА ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ВЫСОКОТОЧНЫХ ДАТЧИКОВ1 К. А. Андреев, С. А. Милешин, Т. А. Цивинская Представлен способ формирования интегральных чувствительных элементов на основе монокристаллического кремния. <...> Основное внимание уделено применению методов электростатической сварки для получения мембран преобразователя, обладающих высокой чувствительностью к напряжениям, возникающим в материалах конструктивных элементов, при минимизации погрешностей параметров датчика. <...> Ключевые слова: разварка кремния и стекла, контакты датчиков, электростатическая сварка. <...> ВВЕДЕНИЕ Практически все производители датчиков, предназначенных для измерения давления, разрежения, силы, вибрации, перемещения, проявляют интерес к использованию интегральных чувствительных элементов на основе монокристаллического кремния, поскольку кремниевые преобразователи имеют на порядок большую временную температурную стабильность и чувствительность в сравнении с широко распространенными в данное время приборами на основе КНС (кремний на сапфире) структур. <...> Но как ни парадоксально, именно высокая чувствительность кремниевых преобразователей, позволяющая разрабатывать приборы высокой точности, не имеющих зоны нечувствительности, тормозит широкое внедрение кремниевых преобразователей в производство датчиков, так как мембрана преобразователя обладает высокой чувствительностью и к напряжениям, возникающим в материалах конструк1 Работа выполнена в рамках <...>