УДК 62-784.4.681.586’33 ПЫЛЕСТОЙКОСТЬ ДАТЧИКОВ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ1 А. С. Григорьев Описан эксперимент, проведенный специалистами немецкой фирмы SensorTechnics с целью сравнения качественных характеристик дифференциальных датчиков давления от различных производителей в условиях воздействия пыли. <...> ВВЕДЕНИЕ Датчики низкого давления серии LBA с рабочими диапазонами от 25 Па позволяют вычислять перепады давления воздуха или газов путем измерения дифференциального давления от слабых (порядка нанолитров в секунду) потоков газов через воздушный канал датчика с высоким сопротивлением потоку. <...> Преобразователь давления представляет собой термоанемометр, выполненный на основе технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС), размещенный на кристалле монокристаллического кремния. <...> Технология Rejustor (программируемые резисторы) в сочетании с КМОП обеспечивают работу интегрированной на чипе аналоговой электроники для компенсации и обработки сигнала. <...> РИСК ЗАГРЯЗНЕНИЯ ПЫЛЬЮ В отношении многих сфер применения, например, в системах вентиляции и кондиционирования, где в рабочем потоке воздуха могут присутствовать частицы пыли, часто возникает вопрос, может ли такое загрязнение представлять собой угрозу для надежной работы расходомеров на основе термоанемометров. <...> Поскольку, как правило, использование дифференциальных датчиков давления подразумевает пропускание потока воздуха через внутренний канал, весьма вероятно, что этот поток занесет частицы пыли внутрь устройства. <...> Таким образом, существует гипотетическая опасность следующих негативных последствий: — изменение (увеличение) внутреннего сопротивления потоку и, следовательно, изменение (уменьшение) калиброванной чувствительности датчика, что может проявляться в виде снижения 1 Статья подготовлена на основе материалов исследований, проведенных специалистами SensorTechnics (группа компаний First Sensor). выходного напряжения датчика при каждом значении <...>