УДК 531.768.681.586.728 МИКРОСИСТЕМНЫЙ МАГНИТОМЕТР НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ А. Ю. <...> Чикина Рассмотрен вопрос создания микросистемного магнитометра, реализованного с использованием зависимости частоты генерации генератора на ПАВ от фазовой скорости распространения акустических волн. <...> Получена математическая модель системы измерения магнитной напряженности на основе ПАВ. <...> Кремниевые подложки, изготовленные на основе пьезоэлектрической пленки из окиси цинка — самой рациональной с точки зрения согласования ТКЛР. <...> Для возбуждения ПАВ используются совместно прямой и обратный пьезоэффекты. <...> Ключевые слова: микросистема на ПАВ, скорости акустических волн, генератор частоты на ПАВ, встречно-штыревые электроды возбуждения генерации. <...> Разработки магнитометров, применяемых в основном для целей навигации, ведутся на различных принципах, в том числе и на поверхностных акустических волнах (ПАВ). <...> Для рабочего поля магниточувствительных структур ПАВ используют кристаллические пленки типа граната, например железо-бариевые пленки (рис. <...> Большинство физических эффектов — механических, электрических, оптических, тепловых, магнитных и многих других могут быть оценены количественно и качественно с помощью преобразователей на ПАВ. <...> Волны на поверхности твердого тела теоретически описываются волновым уравнением для вектора смещения с граничными условиями в виде условий неразрывности. <...> Для возбуждения ПАВ на поверхность твердых тел с ограниченными размерами наносится пьезоэлектрический слой или пленка (рис. <...> Поверхность подложки должна быть тщательно отшлифована и отполирована, примерно до 14-го класса чистоты. <...> В качестве подложек для ПАВ могут служить диэлектрики с малыми механическими потерями: стекла, ситаллы, керамики, кремний и др., а в качестве слоев для возбуждения волн — материалы с пьезоэлектрическими свойствами: пьезокварц, пленки нитрида алюминия, пленки титаната цирконата свинца, окись <...>