586’326.621.315.612 КЕРАМИЧЕСКИЕ УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ В ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР КНС Е. Г. Савченко, В. В. Светухин, В. М. Стучебников, А. А. Устинов Представлены сравнительные метрологические характеристики серийных тензопреобразователей (ТП) давления с титановыми мембранами, спаянными с чувствительным элементом на основе КНС припоем ПСр-72 и ТП с керамическими мембранами, спаянными аморфным припоем СТЕМЕТ. <...> Показано, что ТП с керамическими мембранами имеют меньшую вариацию и гистерезис. <...> Основную роль в разнице характеристик играет соединительный слой. <...> Приведено распределение элементов и микротвердости в слоях. <...> Ключевые слова: тензопреобразователь давления, структура “кремний на сапфире”, гистерезис, вариация, температурный дрейф, аморфный припой, пайка керамики с сапфиром, микротвердость. <...> ВВЕДЕНИЕ Как известно, тензопреобразователи (ТП) давления на основе тензочувствительных элементов, изготовленных из гетероэпитаксиальных структур “кремний на сапфире” (КНС), обладают рядом преимуществ в сравнении с другими микроэлектронными тензорезисторными преобразователями [1]. <...> Обычно при производстве ТП на основе КНС сапфировые подложки полупроводниковых чувствительных элементов (ПЧЭ) напаиваются на упругие мембраны из титанового сплава с помощью серебросодержащего припоя ПСр72 [2]. <...> При этом из-за различных коэффициентов теплового расширения (КТР) титанового сплава и сапфира в ТП после высокотемпературной пайки возникают значительные термические напряжения, которые ухудшают метрологические характеристики ТП и, в частности, приводят к появлению температурной погрешности преобразования. <...> Одним из кардинальных способов снижения этой погреш58 ности является уход от титанового сплава как материала упругой мембраны и применение другого материала, близкого по КТР к сапфиру. <...> Привлекательным с этой точки зрения является алюмосиликатная керамика, тем более, что керамические <...>