УДК 681.586’326 КРЕМНИЕВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ С ЗАЩИТОЙ ОТ ПЕРЕГРУЗОК1 К. А. Андреев, А. И. Власов, В. А. Шахнов Рассмотрена проблема защиты кремниевых тензорезистивных чувствительных элементов от перегрузок. <...> Подробно исследованы вопросы моделирования кремниевых кристаллов чувствительных элементов при воздействии давлений, превышающих верхний предел измерения. <...> Кратко представлены варианты существующих конструкций мембран чувствительных элементов и возможных конфигураций стопорных элементов. <...> В заключение предложена конструкция чувствительного элемента дифференциального датчика давления с двумя стопорными элементами. <...> Ключевые слова: кремниевые тензорезистивные чувствительные элементы, перегрузки, стопорные элементы, дифференциальный датчик давления. <...> ВВЕДЕНИЕ Датчики давления имеют широчайший спектр применения. <...> Так как интегральные преобразователи давления для дифференциальных датчиков имеют достаточно тонкую, не более 200 мкм, кремниевую мембрану, то они могут быть разрушены большими скачками давления. <...> Большинство технических решений по защите от перегрузок [1—3] используют стопорный элемент или жесткий центр кремниевого кристалла для предотвращения нежелательного 1 Отдельные результаты работы получены в рамках НИОКР по государственному заданию № 7.6161.2011. <...> 54 прогиба мембраны при превышении максимального измеряемого рабочего давления. <...> Недостатком данных решений является возможность разрушения мембраны при значительных перегрузках (более чем в шесть раз от верхнего предела измерения). <...> При перегрузках центральный выступ мембраны упирается в поверхность основания, при дальнейшем увеличении давления мембрана испытывает большие перегрузки в местах расположения активной области мембраны, окружающей центральный выступ, происходят пластичные, сдвиговые деформации, а затем и разрушение мембраны. <...> Цель работы — решение задачи обеспечения надежности и работоспособности <...>