УДК 681.586.74.621.793.74 МАГНЕТРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ ГАЗОВЫХ ДАТЧИКОВ Е. А. <...> Медведева Рассмотрена технология магнетронного напыления электродов для электрохимических газовых ячеек (ЭХЯ), позволяющая улучшить повторяемость характеристик и снизить расход платины путем уменьшения толщины активного слоя. <...> Исследована селективность и чувствительность ЭХЯ, собранной на основе изготовленных электродов, к сероводороду, окиси углерода, двуокиси азота и сернистому газу. <...> Приведены результаты измерений времени отклика и долговременной стабильности датчика сероводорода. <...> ВВЕДЕНИЕ Для мониторинга в реальном времени загрязнений воздуха в настоящее время применяются газовые датчики различных типов: электрохимические (ЭГД), термокаталитические, инфракрасные и др. <...> . В ЭХЯ газовых датчиков электроды представляют собой газопроницаемую мембрану с каталитически активным слоем, нанесенным известными методами, такими как трафаретная печать [3], химическое и электрохимическое осаждение [4], ультразвуковое напыление [5] и т. д. <...> Действие ЭГД основано на протекании специфичной химической реакции в электрохимической ячейке (ЭХЯ) с раствором электролита и электродами. <...> Широкое применение ЭГД в газоанализаторах обусловлено простотой их обслуживания, невысокой стоимостью и широким спектром измеряемых компонентов. <...> Катализаторы для электродов ЭХЯ на основе благородных металлов химически активны и стабильны, но требуют экономии материалов, а носитель (подложка) должен быть недорогим, электропроводящим и электрохимически стабильным. <...> Этим требованиям удовлетворяет аморфный углерод, легирование которого каталитическим агентом (например, платиной), позволяет независимо управлять проводимостью и каталитической активностью образующегося нанокомпозита и получать эффективные тонкопленочные катализаторы Pt/C [6, 7]. <...> Перспективна тонкопленочная технология нанесения катализаторов, которая позволяет <...>