Естественные и технические науки, № 1, 2017 Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы Приборы и методы измерения Кокшина А.В., аспирант Чувашского государственного университета им. <...> И.Н. Ульянова ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZnO, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ОТЖИГА В работе представлены результаты исследования электрооптических и поверхностных свойств тонких пленок оксида цинка. <...> В ходе работы методом термического отжига были получены тонкие пленки оксида цинка, обладающие полупроводниковыми свойствами и высокой прозрачностью в видимой области спектра (до 70%), с шириной запрещенной зоны 3,2 эВ. <...> Данные пленки могут найти применение в качестве прозрачных электродов в фотоэлектрических преобразователях, солнечных элементах и других оптоэлектронных устройствах. <...> Ключевые слова: тонкие пленки, оксид цинка, ZnO, прозрачные проводящие оксиды, солнечная энергетика. <...> INVESTIGATION OF PROPERTIES OF ZnO THIN FILMS, OBTAINED BY THERMAL ANNEALING This work presents the results of a study of electro-optical and surface properties of ZnO thin film obtained by thermal annealing. <...> The obtained samples exhibit semiconducting properties, high transparency in the visible region of the spectrum (up to 70%) and a bandgap of 3.2 eV. <...> This films are used as transparent electrodes in the photoelectric converters, solar cells and other optoelectronic devices. <...> В области развития технологии синтеза различных соединений, в течение последних лет серьезное внимание уделяется антиподу монокристаллов – неупорядоченным системам – пленкам. <...> В отличие от «общепринятых» кристаллических полупроводников, аморфные пленки не обладают дальним порядком в расположении атомов и трансляционной симметрией. <...> Наиболее интересным и перспективным направлением развития полупроводниковых приборов являются тонкопленочные технологии. <...> Одной из современных областей, где активно внедряются тонкопленочные технологии, является солнечная энергетика. <...> В данной области получили применение так называемые прозрачные проводящие покрытия (ТСО), которые представляют собой различные тонкопленочные материалы (полупроводниковые <...>