ОБЗОР РЫНКА ПРОДУКЦИИ УДК 621.235.015 (Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, е-mail: vasichev@ya.ru, vacuumwa@ya.ru) Б.Н. Васичев, д-р физ.-мат. наук, С.В. Степанчиков, канд. техн. наук ОТЕЧЕСТВЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ И ПЕРСПЕКТИВЫ ЕГО РАЗВИТИЯ В статье рассмотрены вопросы создания и эксплуатации оборудования для производства и исследования объектов нанотехнологий. <...> На примере отечественных разработок показана сложность, наукоемкость и надежность современного прецизионного оборудования для микрои нанотехнологий. <...> Ключевые слова: микро- и нанотехнологии; нанообъект; надежность; микросистемная техника; электронно- и ионно-зондовое оборудование; электронно-лучевые системы. <...> Для исследования, моделирования нанообъектов, а также для реализации проектов по разработке и внедрению в производство нанотехнологий необходимы соответствующие, принципиально новые технологическое оборудование, приборы и устройства [1 – 4]. <...> Для решения задачи определения химического элементного состава группы атомов необходимо выполнить экспресс-анализ с высокой прицельностью и минимальной погрешностью. <...> Это возможно только с помощью специализированного прибора, который смог бы одновременно: • визуализировать участок анализа с разрешающей способностью около 0,01 нм, обладать высокой локальностью (5 нм и менее) возбуждения и высокой эффективностью регистрации характеристического рентгеновского спектра и его расшифровки (раздельной регистрации αK - и βK -линий); • иметь возможность изучать нанообъект с помощью высокоприцельной микроэлектронографии, для определения типа атомной решетки; • осуществлять манипуляции этим объектом, не упуская его из поля зрения микроскопа; • измерять геометрические размеры нанообъекта и его частей с минимальными погрешностями. <...> «Отечественное оборудование для микро- и нанотехнологий и перспективы.» <...> Оснащение их приставками для рентгеновского анализа не отвечает <...>