87–90 МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ “ФОТОННЫЕ КОЛЛОИДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ: СИНТЕЗ, СВОЙСТВА И ПРИМЕНЕНИЯ” PCNSPA-2016 УДК 535.015 МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛОВ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ В ВИДИМОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА © 2017 г. Д. С. Довженко*, И. Л. Мартынов*, И. С. Крюкова*, А. А. Чистяков*, И. Р. Набиев*, ** * Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, 115409 Москва, Россия ** Университет Реймса, Шампань-Арденн, 51100 Реймс, Франция E-mail: dovzhenkods@gmail.com Поступила в редакцию 18.07.2016 г. Оптические устройства на базе фотонных кристаллов представляют большой интерес в связи с возможностями их эффективного применения в области лазерной физики и для биосенсинга. <...> Фотонные кристаллы позволяют управлять распространением электромагнитных волн и контролировать свойства излучения люминофоров, внедренных в фотонную структуру. <...> Одним из наиболее интересных материалов для изготовления одномерных фотонных кристаллов является пористый кремний. <...> Однако при использовании данного материала важным вопросом является контроль показателя преломления слоев за счет изменения пористости, а также дисперсия показателя преломления. <...> Кроме того, важно иметь возможность моделирования оптических свойств структуры для точного подбора параметров изготовления и получения одномерных фотонных кристаллов с заданными свойствами. <...> Для решения данных задач мы использовали математическую модель на основе метода матриц переноса, модели Бруггемана, а также дисперсионной зависимости показателя преломления кремния. <...> По полученным с использованием предложенной модели параметрам были изготовлены образцы микрорезонаторов методом электрохимического травления кремния и измерены их спектры отражения. <...> Показано хорошее соответствие рассчитанных параметров с полученными экспериментально. <...> В результате применения модели была достигнута добротность микрорезонаторов 160 в видимой области спектра. <...> DOI: 10.7868/S0030403417010068 ВВЕДЕНИЕ <...>