Db МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭМИССИОННЫХ ПРОЦЕССОВ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК © 2017 г. А. <...> 5 E-mail: artimiy.shamanaev@tcen.ru Поступила в редакцию 04.07.2016 г. Моделируются автоэмиссионные характеристики идеальной углеродной нанотрубки, проводится сравнение характеристик трубок с закрытым и открытым концами. <...> Результаты моделирования сопоставляются с экспериментальным измерением тока автоэлектронной эмиссии одиночной углеродной нанотрубки. <...> Наблюдается хорошее согласие рассчитанных и экспериментальных токов автоэмиссии. <...> DOI: 10.7868/S0544126917010057 ВВЕДЕНИЕ Одним из перспективных направлений применения углеродных нанотрубок (УНТ) является их использование в качестве холодных катодов в приборах кремний-углеродной электроники [1, 2]. <...> УНТ является объектом с высоким аспектным отношением, что приводит к существенному усилению электрического поля вблизи ее конца и тем самым способствует протеканию тока автоэлектронной эмиссии (АЭ). <...> Плотности токов АЭ становятся заметными при напряженности электрического поля свыше 109 В/м вблизи эмитирующей поверхности. <...> Такие значения напряженности могут быть достигнуты в микро- и наносистемах, что открывает дорогу к созданию автоэмиссионных приборов на УНТ. <...> В связи с этим возникает необходимость моделирования процессов и расчета характеристик различных эмиссионных структур на УНТ в качестве катодов. <...> Цель работы – разработка методики расчета тока АЭ в различных эмиссионных структурах с УНТ, апробация методики на примере системы, состоящей из одиночной УНТ, сравнение результатов расчета с экспериментом. <...> 1 представлена эмиссионная система, на которой проводились измерения тока АЭ. <...> На 14 проводящей кремниевой подложке, покрытой диэлектриком, сформированы области, на поверхности которых выращивались УНТ. <...> На рисунке отчетливо видны одиночная УНТ, исходящая от кремниевой подложки, и анодный электрод в форме усеченного конуса со сферической головкой, подведенный на расстояние ~340 нм к УНТ. <...> Второй электрод <...>