94–99 УДК 537.534:535.337 СРАВНЕНИЕ ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ИОННО-ФОТОННОЙ ЭМИССИИ АТОМОВ И ОДНОЗАРЯДНЫХ ИОНОВ ТИТАНА © 2017 г. И. А. Афанасьева*, В. В. Бобков, В. В. Грицына, И. И. Оксенюк, Д. И. Шевченко Харьковский государственный университет им. <...> В.Н. Каразина, 61022 Харьков, Украина *E-mail: afaninna@i.ua Поступила в редакцию 11.03.2016 г. Исследованы эмиссионные спектры распыленных частиц титана (TiI и TiII) при бомбардировке поверхности титана ионами Ar+. <...> Получены экспериментальные зависимости эффективности возбуждения атомов и ионов Тi от энергии возбужденного состояния. <...> Изучено пространственное распределение излучения для линий спектров TiI и TiII и определено значение кинетической энергии отлетающих частиц. <...> Ключевые слова: фотонная эмиссия, квантовый выход эмиссии, эффективное возбуждение, пространственное распределение излучения, распыление. <...> DOI: 10.7868/S0207352817010036 ВВЕДЕНИЕ При бомбардировке твердых тел пучками ионов средних энергий наблюдается ряд вторично-эмиссионных процессов, одним из которых является отлет от поверхности мишени частиц в возбужденном состоянии с последующим испусканием фотонов – ионно-фотонная эмиссия. <...> Исследование основных параметров эмиссии частиц, отлетающих от поверхности в ионизированном состоянии, может дать дополнительную информацию относительно процессов, приводящих к выбиванию ионов, так как в этом процессе можно определить не только тип отлетающей частицы, но и ее состояние (в частности, возбужденное). <...> В настоящей работе проведено сопоставление основных параметров ионно-фотонной эмиссии однозарядных ионов титана с аналогичными параметрами эмиссии атомов титана с целью уточнения процессов, приводящих к выбиванию возбужденных атомов и возбужденных ионов. <...> УСЛОВИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА Экспериментальная установка, на которой проводились исследования, позволяла получить выделенный по массе пучок ионов Ar+ с энергией 20 кэВ и плотностью тока 15 мкА/см2. <...> Излучение, испущенное возбужденными частицами <...>