61–67 УДК 546.06 ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ВРЕМЯПРОЛЕТНОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ С ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННЫМ ИСПАРЕНИЕМ ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ МАЛЫХ ПРИМЕСЕЙ © 2017 г. Г. <...> Шейндлин1, 1Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Россия 2Московский физико-технический институт (НИУ), г. Долгопрудный, Россия *E-mail: sheindlin@yandex.ru Поступила в редакцию 05.10.2015 г. Предложен метод определения малых примесей на уровне десятков ppm в различных твердых материалах, основанный на лазерно-индуцированном испарении вещества в вакууме в режиме вынужденной конгруэнтности c одновременным анализом продуктов испарения времяпролетным массспектрометром. <...> Представлены результаты измерения количественного состава примесей в α-корунде, полученном из порошкообразного гидрооксида алюминия (AlOOH) высокотемпературным отжигом (1500 и 1800°С). <...> Представленные значения относительного состава примесей хорошо согласуются с результатами метода масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. <...> DOI: 10.7868/S0040364416050082 ВВЕДЕНИЕ В технологиях получения особо чистых веществ, используемых, например, в электронной, лазерной и других областях, актуальным является адекватное определение количественного состава малых примесей в керамической матрице на уровне десятков ppm. <...> Очевидно, что наиболее полную информацию об элементном составе анализируемого вещества можно получить с помощью различных вариантов анализа с применением масс-спектрометрии. <...> Анализируемое вещество, находящееся исходно в твердом состоянии, тем или иным способом переводится в газообразное состояние, после чего часть молекул ионизируется путем образования плазмы (индуктивносвязанной, лазерной и др.) или путем принудительной ионизации (например, электронным ударом). <...> Сформированный пучок образованных ионов направляется в масс-спектрометр, где происходит селекция ионов по массе и проводится их количественный анализ. <...> Например, в весьма распространенных приборах для анализа малых примесей <...>