1 Формирование и свойства захороненного изолирующего слоя двуокиси кремния в двухслойных структурах ”пористый кремний-на-изоляторе“ © В.В. Болотов, Е.В. Князев, И.В. Пономарева, В.Е. Кан ¶,Н.А.Давлеткильдеев, К.Е. Ивлев, В.Е. Росликов Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, 644024 Омск, Россия ¶ E-mail: kan@obisp.oscsbras.ru Получена 24 марта 2016 г. Принята к печати 4 апреля 2016 г. кремний−мезопористый кремний“. <...> Методами электронной микроскопии, эллипсометрии, электрофизическими измерениями исследована морфология и диэлектрические свойства получаемого слоя захороненного Изучен процесс окисления мезопористого кремния в двухслойной структуре ”макропористый диэлектрика. <...> Определено наличие специфического вида дефектов ”шипов“, возникающих при окислении стенок макропор в макропористом кремнии, границ пересечения фронтов окисления мезопористого кремния. <...> Установлено, что при исходной пористости мезопористого кремния 60% и трехстадийном термическом окислении формируются захороненные слои двуокиси кремния с напряженностью электрического поля пробоя Ebr ∼ 104−105 В/cм. <...> Показана перспективность применения многослойных структур ”пористый кремний-на-изоляторе“ в интегрированных химических микро- и наносенсорах. <...> Введение Структуры на основе пористого кремния легко интегрируются с электронным обрамлением в кремниевом технологическом цикле и благодаря развитой поверхности могут служить основой для создания композитных структур для химических микро- и наносенсоров [1–7]. <...> Для использования преимуществ развитой поверхности макропористого слоя в композитных структурах необходима электрическая изоляция этого слоя от проводящей подложки. <...> Вэтом случае при нанесении чувствительной среды на развитую поверхность макропористого кремния можно получить многослойную интегрированную сенсорную структуру с большой эффективной площадью и, как следствие, с высокой чувствительностью <...>