1 12,13 Электронное строение и фазовый состав диэлектрических прослоек в многослойной аморфной наноструктуре [(CoFeB)60C40/SiO2]200 © Э.П. Домашевская 1,Н.С. Буйлов 1,В.А.Терехов 1,К.А. Барков 1,В.Г. Ситников 2 1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия 2Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия E-mail: ftt@phys.vsu.ru Поступила в Редакцию 23 мая2016 г. трических слоев была получена ионно-лучевым распылением на вращающуюся ситалловую подложку из двух мишеней, одна из которых представляла собой металлическую пластину сплава Co40Fe40B20 со вставками графита. <...> Диэлектрические прослойки напылялись из пластины кварца SiO2 (вторая мишень). <...> Толщины бислоев многослойной наноструктуры (МНС)(6nm), состоящие из металлосодержащих композитных Многослойная аморфная наноструктура [(CoFeB)60C40/SiO2]200 из чередующихся композитных и диэлекслоев с углеродом (CoFeB)60C40 толщиной около 4nm и диэлектрических прослоек оксидов кремния толщиной около 2nm, определялись методом малоугловой дифракции. <...> Результаты экспериментального послойного исследования без разрушения МНС методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии (УМРЭС) показали существенное отклонение стехиометрического состава диэлектрических прослоек от стехиометрии распыляемого кварца в сторону уменьшения содержания кислорода с образованием субоксида SiO1,3. <...> По результатам моделирования Si L2,3-спектров с помощью эталонных спектров известных фаз содержание субоксидной фазы кремния в аморфных диэлектрических прослойках достигает около половины состава прослойки, вторая половина которого приходится на диоксид SiO2. о ”Экранирующее“ действие углерода в металлосодержащих слоях проявляется в отсутствии силицидонаучной деятельности на 2014−2016 годы. <...> К основным относится соотношение объемов ферромагнитной и немагнитной фаз, которое влияет на расстояния между наночастицами металлического сплава и, следовательно, на величину магнитного взаимодействия <...>