81–84 НАНОРАЗМЕРНЫЕ И НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ПОКРЫТИЯ УДК 546.26:539.216 КОМПОЗИТНЫЕ ЭЛЕКТРОДЫ ДЛЯ ИСТОЧНИКОВ ТОКА НА ОСНОВЕ ГРАФЕНО-ПОДОБНЫХ ПЛЕНОК В ПОРИСТОМ КРЕМНИИ © 2017 г. В. В. Старков*, Д. М. Седловец, М. А. Князев, А. Н. Редькин Федеральное Государственное Бюджетное Учреждение Науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН), ул. <...> 6, Черноголовка Московской обл., Россия, 142432 *E-mail: starka@iptm.ru Поступила в редакцию 12.11.2015 г. В работе представлены результаты по созданию композитных мембран толщиной около 200 µм с высокой электрической проводимостью на основе пористого кремния и графено-подобных пленок. <...> Предложен метод CVD синтеза пленок, позволяющий формировать графено-подобное покрытие на внутренней поверхности градиентно-пористого кремния с изменяемой по глубине морфологией пор. <...> DOI: 10.7868/S004418561606019X ВВЕДЕНИЕ Большие надежды на создание микротопливных элементов (µ-ТЭ) в последнее десятилетие связаны с возможностью применения так называемой кремниевой технологии [1]. <...> В частности, наиболее привлекательной является возможность реализации в монолитном исполнении пористых кремниевых электродов в виде мембран, включающих в себя водородосепарирующие пленки, газоподводящие и газодиффузионные слои с сильно развитой удельной поверхностью [2]. <...> Такие слои с удельной поверхностью до 1000 м2/см3 предполагается использовать в качестве носителя катализаторов, которыми традиционно являются платина (Pt) и рутений (Ru). <...> Однако, для практической реализации этих конструктивно-технологических решений и использования тем самым в полной мере преимуществ самой высокоразвитой кремниевой технологии, необходимо разрешить ряд противоречивых проблем [2–4]. <...> В первую очередь такой проблемой следует назвать чрезвычайно низкую электропроводность нанопористых слоев кремния (удельное сопротивление ρν = 10е8–10е12 Ω см), которые и обладают наибольшей удельной <...>