63–70 ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ УДК 537.5:533.9.07:533.9.08 ГЕНЕРАЦИЯ ОДНОРОДНОЙ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ГАЗОВОЙ ПЛАЗМЫ В ИМПУЛЬСНОМ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ПОЛЫМ КАТОДОМ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ © 2017 г. Ю. Х. Ахмадеев, В. В. Денисов*, Н. Н. Коваль, С. С. Ковальский, И. В. Лопатин, П. М. Щанин, В. В. Яковлев Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия e-mail: *volodyadenisov@yandex.ru Поступила в редакцию 19.01.2016 г. Представлены результаты исследования процесса генерации газовой плазмы в импульсном несамостоятельном тлеющем разряде с полым катодом площадью ≥2 м2, функционирующем при давлениях (0.4–1) Па. <...> При токе вспомогательного дугового разряда 100 А и напряжении основного разряда 240 В получены импульсы тока тлеющего разряда амплитудой 370 А и длительностью 340 мкс при частоте следования импульсов 1 кГц. <...> Продемонстрирована принципиальная возможность создания плотной однородной газоразрядной плазмы в больших (0.2 м3) вакуумных объемах с концентрацией плазмы до 1012 см-3, температурой электронов 1 эВ и высокой равномерностью ее распределения по объему камеры. <...> Созданная плазма перспективна как для непосредственной обработки помещенных в нее образцов и деталей, так и для получения импульсных ионных пучков с плотностью тока до 15 мА/см2. <...> При реализации технологических процессов в этих разрядах недопустимо возникновение эффекта полого катода, при котором может произойти локальный перегрев изделий вследствие того, что в полом катоде плотности тока могут быть на 2–3 порядка выше [4]. <...> С другой стороны, именно это делает возможным использование тлеющего разряда с полым катодом для эффективного получения низкотемпературной плотной плазмы с концентрацией до 1011 см–3 [5, 6]. <...> Создание в полом катоде условий для осцилляции электронов позволяет понизить рабочее давление до 10–1 Па [7], а при использовании внешней инжекции электронов и до 5 Ч 10–3 Па [8]. <...> Внешняя инжекция электронов также дает возможность стабильно работать при низких значениях напряжения <...>