ТЕОРИЯ И ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 621.3.049 ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ МДП-ТРАНЗИСТОРНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА INFLUENCE OF MISFET TEMPERATURE SENSITIVE ELEMENTS ON HYDROGEN SENSOR CHARACTERISTICS Подлепецкий Борис Иванович канд. техн. наук, доцент E-mail: bipod45@gmail.com Никифорова Марина Юрьевна канд. техн. наук, доцент E-mail: mynikiforova @mephi.ru Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, г. Москва Аннотация: Исследовано влияние температуры кристалла на метрологические и эксплуатационные характеристики интегральных датчиков водорода с МДП-транзисторными чувствительными элементами. <...> На основании полученных экспериментальных результатов предложена модель зависимости водородной чувствительности от рабочей температуры кристалла. <...> ВВЕДЕНИЕ Характерной особенностью полупроводниковых датчиков концентрации газов является зависимость их чувствительности и селективности от рабочей температуры чувствительных элементов (ЧЭ) [1, 2]. <...> Эта зависимость определяется типами исследуемых газов, материалами и технологией изготовления ЧЭ и составом газовой среды. <...> Значения рабочих температур T выбираются на основе экспериментальных температурных зависимостей чувствительности датчика S(T) к конкретному типу газа в области максимальных значений S. <...> Как правило, значения T газочувствительных датчиков повышенные (например, для Podlepetsky Boris I. Ph. <...> (Tech.), Associate Professor E-mail: mynikiforova @mephi.ru National Research Nuclear University “MEPhI”, Moscow city Abstract: The influence of chip temperature on metrological and operational characteristics of the integrated hydrogen sensors with MISFET elements have been studied. <...> Keywords: hydrogen sensors, MISFET elements, chip temperature, metrological characteristics. водорода T > 120 °С). <...> Тепловой режим датчика обеспечивается либо протекающим через ЧЭ электрическим током, либо отдельным нагревательным элементом (НЭ) датчика. <...> Чтобы при измерении концентрации газа минимизировать температурную погрешность, рабочая температура должна поддерживаться постоянной. <...> Для этой цели используются <...>