Кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ — 50 лет УДК 621.3.049.776.41 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК РАННИХ СТАДИЙ ТЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ SEMICONDUCTOR SENSOR FOR DETECTING ERLY STAGE OF SMOLDERING ORGANIC MATERIALS Самотаев Николай Николаевич канд. техн. наук, доцент Е-mail: nnsamotaev@mephi.ru Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва кафедра микро- и наноэлектроники Аннотация: Показана возможность обнаружения пожаров на ранней стадии путем детектирования газов, образующихся при тлении органических материалов, с помощью металлооксидного полупроводникового (на основе диоксида олова) датчика в режиме быстрой температурной модуляции. <...> Приведены результаты экспериментального сравнения селективности и быстродействия стандартного электрохимического датчика, предназначенного для детектирования монооксида углерода, и полупроводникового газового датчика при бездымном тлении различных бытовых органических материалов. <...> Ключевые слова: металлооксидный датчик, термоциклирование, селективность ВВЕДЕНИЕ Одной из важнейших характеристик газочувствительных датчиков, применяемых при мониторинге качества воздуха в помещениях, в пожарной сигнализации и т. д., является селективность [1]. <...> В пожарных сигнализациях о наличии пожара свидетельствует присутствие в помещении монооксида углерода СО, хотя на различных стадиях пожара в атмосфере могут выделяться также диоксид углерода СО2, оксид азота NOx, метан CH4, водород Н2, аминогруппы (—NH2) и пары воды H2O [2]. <...> Селективность электрохимических датчиков (ЭХД) к монооксиду углерода выше, чем у металлооксидных датчиков (МОД), работающих при постоянной температуре, однако последние стабильнее. <...> Для повышения селективности МОД применяются различные приемы — например, обработка сигнала с помощью искусственных нейронных сетей или комбинирование различных типов чувствительных материалов на одной подложке [3]. <...> В данной работе выбран способ повышения селективности <...>