Кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ — 50 лет УДК 621.3.049:002.56 МИКРОЭЛЕКТРОНИКА В ПРИБОРОСТРОЕНИИ MICROELECTRONICS APLIED TO INSTRUMENT-MAKING Першенков Вячеслав Сергеевич д-р техн. наук, профессор, зав. кафедрой E-mail: vspershenkov@mephi.ru Подлепецкий Борис Иванович канд. техн. наук, доцент Е-mail: bipod45@gmail.com Бочаров Юрий Иванович канд. техн. наук, доцент Е-mail: yibocharov@mephi.ru Шагурин Игорь Иванович д-р техн. наук, профессор E-mail: ishagurin@inbox.ru Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”, Москва кафедра микро- и наноэлектроники Аннотация: Рассмотрены состояние и характерные тенденции развития элементно-компонентной базы электронного приборостроения. <...> ВВЕДЕНИЕ Микроэлектроника — научнотехническое направление, связанное с разработкой, производством и применением интегральных микросхем (ИМС) [1]. <...> Первый из них в 1958 г. изготовил и испытал макет германиевой ИМС, ставшей прототипом серийных микросхем для использования в системе наведения ракеты “Минитмен” [4]. <...> Нойс предложил создавать ИМС на кремнии и разработал основы планарной технологии. <...> С 1961 г. фирма “Fairchild Semiconductor” начала серийно выпускать кремниевые цифровые интегральные микросхемы. <...> Цифровые ИМС сразу нашли применение в производстве калькуляторов и компьютеров вместо дискретных транзисторов, что позволило значительно уменьшить размеры вычислительных устройств, одновременно повысив их производительность. <...> В результате научно-технического прогресса существенно изменился “облик” измерительной техДатчики и Системы · ¹ 1.2015 3 Кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ — 50 лет Окружающая среда xi 3 13 1 2 2 2 zj 3 12 3 13 4 5 6 7 8 11 10 9 за счет повышения степени интеграции ИМС (уменьшения габаритов элементов и увеличения размеров чипов). <...> Так, 50 лет назад основными измерительными средствами были устройства и приборы для измерения одной величины и преобладали преобразователи физических величин в неэлектрический сигнал (например, изменение температуры или давления — линейное <...>