КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 621.3.049.77:629.7.015.7 К содержанию КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МЭМС С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МАЛОГАБАРИТНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ДЛЯ АЭРОКОСМИЧЕСКОЙ ОТРАСЛИ CONTROL AND MEASURING MEMS DEVICES WITH USE OF SMALL-SIZED SENSITIVE ELEMENTS FROM SINGLE-CRYSTAL SILICON FOR SPACE BRANCH Сергеева Наталья Алексеевна ст. преподаватель Цивинская Татьяна Анатольевна гл. технолог СКБ Шахнов Вадим Анатольевич д-р техн. наук, профессор, зав. кафедрой, член-корреспондент РАН Е-mail: shakhnov@iu4.bmstu.ru Московский государственный технический университет им. <...> , Москва Аннотация: Рассмотрены перспективы разработки и внедрения в аэрокосмическую отрасль контрольно-измерительных средств нового поколения с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния с системой обработки сигнала отечественной разработки на базе компонентов МЭМС. <...> Решение этих проблем возможно только при соответствующей экспериментальной отработке таких объектов в условиях лабораторных и стендовых испытаний и при натурном полете. <...> 32 Sensors & Systems · ¹ 3.2016 Sergeyeva Natalya A. Senior Lecturer Tsivinskaya Tatyana A. Chief Technologist of Special Design Bureau Shakhnov Vadim A. <...> Но при этом датчики по сбору информации должны иметь такие метрологические и технические характеристики, чтобы обеспечить преемственность и сопоставимость результатов испытаний как для последовательных этапов лабораторной, стендовой, натурной отработки изделия и его отдельных конструкций в условиях имитации процесса старта, прохождения плотных слоев атмосферы, полета в условиях криогенных или, наоборот, повышенных температур, вакуума, различного рода излучений, при посадке и т. д., так и иметь возможность сопоставления данных, полученных во время подготовки полета, и данных контроля систем во время полета. <...> Такая система быстродействующей обработки диагностических сигналов позволит сократить сроки изготовления и подготовки техники к эксплуатации и посредством мониторинга <...>