681.586`33 ОЦЕНКА ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ СЕНСОРОВ В УСТРОЙСТВАХ ТИПА “ЭЛЕКТРОННЫЙ НОС”1 ASSESS THE FEASIBILITY OF METAL OXIDE SENSORS IN DEVICES SUCH AS “ELECTRONIC NOSE” 1) Кулагин Владимир Петрович д-р техн. наук, профессор, руководитель НИЛ Е-mail: vkulagin@hse.ru 1) Кузнецов Юрий Михайлович канд. техн. наук, вед. эксперт Е-mail: ykuznetsov@hse.ru 2) Львов Сергей Анатольевич гл. конструктор Е-mail: Lvov@uralalmazinvest.ru 1) Чулкова Галина Меркурьевна д-р физ.-мат. наук, доцент, профессор Е-mail: gchulkova@hse.ru 2) Шустров Александр Викторович нач. сектора Е-mail: av.shustrov@gmail.com 3) Иванов Александр Иванович д-р техн. наук, доцент, нач. лаборатории Е-mail: ivan@pniei.penza.ru 1) Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета “Высшая школа экономики”, Москва 2) ООО “Производственно-Технологический Центр “УралАлмазИнвест”, Москва 3) АО “Пензенский научно-исследовательский электротехнический институт”, Пенза 1) Kulagin Vladimir P. D. <...> ] Аннотация: Приведен обзор сенсоров, изготовленных на основе металлооксидных полупроводников. <...> Рассмотрены технологии и различные варианты выполнения химических сенсоров для использования в устройствах типа “электронный нос” с целью распознавания широкого класса химических веществ. <...> ВВЕДЕНИЕ Возрастание интереса к химическим датчикам в последнее десятилетие во многом обусловлено стремлением создать эффективную экспертную систему типа “электронный нос”, которая сможет различать достаточно широкий спектр запахов и газов в реальных условиях эксплуатации: в медицине (например, качество лекарств, анализ ряда заболеваний), в пищевой (качество продуктов), горнодобывающей промышленности (выбросы метана в шахтах), в системах безопасности (для предупреждения террористических угроз), в космосе и других областях. <...> Анализ публикаций в данной области показывает, что тематика, связанная с созданием систем “электронный нос”, является одной из лидирующих в разработке современных электронных сенсорных устройств <...>