Санкт-Петербургскому Государственному университету аэрокосмического приборостроения – 75 лет Design and optimization of technological processes and systems for assembling electronics. <...> Операционный контроль в технологическом процессе изготовления электронных модулей с внутренним монтажом // Известия вузов. <...> Синтез конструкторско-технологических решений при проектировании бортовой электронной аппаратуры. <...> Synthesis of design and technological solutions in the design of on-board electronic equipment // News Of SUAI. <...> ] УДК 681.2.081 ПОВЫШЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ МЭМ-ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ ОПТИМИЗАЦИЕЙ ТОПОЛОГИИ ВТОРИЧНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ1 INCREASING THE SENSITIVITY OF MEMS PRESSURE SENSORS BY OPTIMIZATION OF TOPOLOGY OF THE SECONDARY TRANSDUCERS Окин Павел Александрович аспирант Е-mail: pokinspb@gmail.com Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург Аннотация: Предложен подход к проектированию измерительных каналов микроэлектромеханических датчиков с резонансными измерительными преобразователями на основе оптимизации их размещения и угловой ориентации на поверхности анизотропного чувствительного элемента с целью повышения чувствительности. <...> Сформулированы топологические решения, обеспечивающие максимальную чувствительность вторичных преобразователей резонансного типа к измеряемым физическим величинам. <...> Показано, что некоторые из применяемых в настоящее время конструкторских решений не обоснованы теоретически и не дают реальных практических результатов. <...> ВВЕДЕНИЕ Повышение чувствительности — одна из основных задач, находящаяся в центре внимания разработчиков и конструкторов резонансных микроэлектромеханических датчиков и систем на их основе [1]. <...> В статье рассматривается возможный вариант ее решения на основе оптимизации топо1 Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований, гранты № 15-07-00118-а; 15-0700119-а; 15-07-00120-а; 15-07-00222-а. <...> Okin Pavel A. Postgraduate Е-mail: pokinspb@gmail.com Saint-Petersburg State University of Aerospace Instrumentation, St. <...> Petersburg Abstract: In article approach <...>