Санкт-Петербургскому Государственному университету аэрокосмического приборостроения – 75 лет kov Yu. <...> Classical and quantum approaches to power spectrum measurement by diffractional methods // Proceedings SPIE. <...> Optics and Photonics for Information Processing IV, edited by Abdul A. S. <...> УДК 534.2;621.37 ВОЗМОЖНОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ПАВ ДЛЯ ПОСТРОЕНИЯ ИНТЕГРИРОВАННЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Балышева Ольга Леонидовна канд. техн. наук, доцент E-mail: balysheva@mail.ru SAW TECHNOLOGY CAPABILITIES TO DESIGN AN INTEGRATED SENSING ELEMENTS Balysheva Olga L. Ph. <...> (Tech.), Associate Professor E-mail: balysheva@mail.ru Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург Аннотация: Рассмотрены конструктивные возможности и используемые принципы организации интегрированных ЧЭ на ПАВ. <...> Ключевые слова: поверхностные акустические волны (ПАВ), датчики, чувствительный элемент, интегрированный чувствительный элемент. <...> ВВЕДЕНИЕ В последние годы интерес к устройствам на поверхностных акустических волнах (ПАВ) возрос благодаря их успешному применению в качестве чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков. <...> Petersburg Abstract: The paper discusses the design features and the principles of organization of the integrated SAW sensors. <...> Keywords: surface acoustic waves (SAW), sensors, sensitive element, integrated sensitive element. жат высокая чувствительность, миниатюрность, надежность, отсутствие источников питания, отлаженная технология изготовления, низкая стоимость при массовом производстве. <...> Задача повышения информативности и функциональной интеграции современной измерительной аппаратуры связана с разработкой интегрированных сенсорных систем и систем, объединяющих функции чувствительности с другими дополнительными возможностями и функциями. <...> В качестве пассивного ЧЭ используются двухпортовая ПАВ-структура в виде линии задержки (ЛЗ), содержащая входной и выходной встречноштыревые преобразователи (ВШП) ПАВ (рис. <...> 1, а), и однопортовая структура в виде ПАВ-резонатора, состоящего из одного ВШП и двух симметрично расположенных относительно ВШП отражающих решеток [1] (рис. <...> Съем информации с ЧЭ осуществляется при приеме ответного сигнала <...>