100 УДК 681.7.036, 681.7.023.72, 539.211, 539.422 ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ МОНОКРИСТАЛЛА НИОБАТА ЛИТИЯ НА ПРОЦЕСС ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ СХЕМ∗ А. В. Сосунов, Р. С. Пономарев, В. А. Юрьев, А. Б. Волынцев Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, г. Пермь, ул. <...> Букирева, 15 E-mail: alexeisosunov@gmail.com Показано, что приповерхностный слой монокристалла ниобата лития глубиной до 15 мкм значительно отличается от остального объёма материала по составу, структуре и механическим свойствам. <...> Указанные отличия обусловлены воздействием резки, шлифовки и полировки пластин ниобата лития, в результате чего в приповерхностном слое повышается плотность точечных дефектов и дислокаций. <...> Рост плотности структурных дефектов приводит к неконтролируемому изменению условий формирования волноводов и дрейфу характеристик интегрально-оптических схем. <...> Полученные результаты имеют большое значение в производстве интегрально-оптических схем на основе ниобата лития. <...> Ключевые слова: ниобат лития, приповерхностный слой, плотность дислокации, структурные дефекты, механические свойства, интегрально-оптическая схема. <...> Монокристалл ниобата лития (НЛ) обладает набором уникальных свойств, которые отличают его от других оптических материалов: высокая температура Кюри, химическая и механическая стабильность, широкое окно прозрачности, высокие электрооптические коэффициенты и возможность микроструктурирования или создания периодических доменных структур. <...> Монокристалл НЛ широко используется в качестве материала подложки для электрооптических модуляторов и акустооптических фильтров [1], нелинейных оптических устройств преобразования частоты и лазеров [2]. <...> Оптические волноводы, микроструктуры и брэгговские решётки создаются в слое глубиной не более 10 мкм от поверхности пластины. <...> От состава, структуры и свойств этого слоя зависит коэффициент диффузии ионов H+ или Ti <...>