Исследованы структура и состав тонких нанометровых пленок углерода, осажденных на подложку под мощным EUV-излучением 13.5 нм в условиях высокого вакуума. <...> Структура пленки исследовалась методом рамановской спектроскопии в сравнении с известными структурными формами углерода — алмазом, одно- и многостенными нанотрубками, нано- и микрокристаллическим графитом, а также аморфным углеродом. <...> Кроме этого для изучения возможных ИК-активных химических связей, прежде всего водородных была использована ИК фурье-спектроскопия поглощения. <...> Показано, что пленки, осаждаемые на поверхности под воздействием EUV-излучения, являются аморфными углеродными пленками, основу которых составляет sp2 -углерод. <...> Знание структуры и состава подобных углеродных пленок представляется крайне важным в EUV-литографии! <...>