ВЛИЯНИЕ ЭНЕРГИИ ФАКЕЛА НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛЕНОК SNO2:SB ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ БЕЗКАПЕЛЬНОГО МЕТОДА ИЛО Паршина Любовь Сергеевна, научный сотрудник лаборатории наноструктур и тонких пленок, кандидат физико-математических наук. <...> Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН. <...> Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН. <...> Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН. <...> Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН. <...> Пленки оксида олова, легированные сурьмой, обладают более высокой термической и химической стабильностью по сравнению с пленками оксида индия, легированными оловом, а также механической прочностью, что позволяет им выдерживать воздействия окружающей среды, при которых работают солнечные элементы. <...> Целью настоящей работы было получение методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО) в бескапельном режиме на подложках из кварцевого стекла тонких пленок SnO2:Sb, при различных условиях осаждения без последующего отжига и исследование структурных, электрических и оптических свойств полученных тонких пленок SnO2:Sb. <...> Минимум удельного сопротивления 1,2 · 10–3 Ом см получен при плотности энергии 4,6 Дж · см–2, температуре подложки 300 ºС и давлении кислорода 20 мТорр и концентрации сурьмы в пленке 2 ат.%. <...> Установлено, что плотность энергии на мишени и уровень легирования пленок SnO2 сурьмой влияют на их пропускание и проводимость. <...> Ключевые слова: прозрачные проводящие пленки, бескапельное импульсное лазерное осаждение, энергия частиц факела 3.7. <...> INFLUENCE OF THE PLUME ENERGY ON THE SNO2:SB FILMS CHARACTERISTICS BY USING THE PLD DROPLET-FREE METHOD Parshina Liubov S., Scientific Researcher of laboratory of nanostructures and thin films, Ph.D. in Physics and Mathematical Sciences. <...> E-mail: ParshinaLiubov@mail.ru Novodvorsky Oleg A., chief of laboratory of nanostructures and thin films, doctor of Physics and Mathematical Sciences. <...> E-mail: ilya.petukhov.lssm@gmail.com Lotin Andrey A., Scientific Researcher of laboratory of nanostructures and thin films, Ph.D. in Physics and Mathematical Sciences. <...> E-mail: uhr@inbox.ru Shorokhova Anna V., associate scientific researcher <...>