УДК 54.058 Выделение галлия из многокомпонентной эвтектики при утилизации технологических отходов В.Б. Кольцов, Н.М. Ларионов, С.А. Слесарев, Т.А. Баркинхоева Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Allocation of Gallium from a Multicomponent Eutectic Disposal Recycle of Technological Wastes V.B. <...> Barkinkhoeva National Research University of Electronic Technology, Moscow Рассмотрены современные методы очистки галлия от примесей и утилизации отходов очистки. <...> Предложена схема переработки различных отходов процесса очистки галлия. <...> The physical and chemical properties of gallium and its role in modern microelectronics have been described. <...> The up-to-date methods of purifying gallium from impurities and recycling of the waste treatment have been presented. <...> A scheme for processing various wastes of the gallium refining process has been proposed. <...> В электронной промышленности в качестве одного из базовых материалов полупроводниковой техники используется галлий, который является основным компонентом для получения арсенида и фосфида галлия, а также твердых растворов на их основе (СаАsР, СаА1Аs, СаInР, АlInGаР и др.) <...> . Технологический процесс изготовления полупроводниковых приборов, например диодов Ганна, p i n-диодов, состоит из таких операций, как синтез и выращивание монокристалла с заданными электрофизическими параметрами, их калибровка, резка на пластины, химико-механическая обработка поверхности, выращивание эпитаксиального слоя с применением методов газофазной и жидкофазной эпитаксии или МОСVD-технологии, формирование требуемой топологии элемента прибора [1, 2]. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 6 2016 537 В.Б. Кольцов, Н.М. Ларионов, С.А. Слесарев, Т.А. Баркинхоева альные структуры, порошкообразные остатки после резки слитков и шлифовки пластин представляют собой ценное вторичное сырье, наиболее дефицитным компонентом которого является галлий. <...> Переработка этого сырья актуальна как с точки зрения экономики (возврат в производственный цикл дорогостоящих материалов), так и охраны окружающей среды (снижение объема токсичных техногенных отходов). <...> Процессы выделения и последующей очистки галлия <...>