Прикладная физика, 2016, № 6 ОБЩАЯ ФИЗИКА УДК 539.534.9 Угловые распределения атомов молибдена, распылённых с помощью пучка газовых кластерных ионов аргона А. В. Назаров, В. С. Черныш, Ю. А. Ермаков, А. А. Шемухин Изучение угловых распределений частиц, распылённых с поверхности твёрдых тел пучком газовых кластерных ионов, имеет большое значение как для прикладных задач, так и для фундаментального понимания механизмов взаимодействия ускоренных кластеров с веществом. <...> В работе представлены результаты моделирования угловых распределений молибдена, распылённого кластерами аргона, при различной энергии методом молекулярной динамики. <...> Введение Взаимодействие ускоренных атомных и молекулярных пучков с поверхностью изучается уже на протяжении более столетия. <...> Этот интерес обусловлен огромной ролью, которую процессы, сопровождающие взаимодействие ионов с веществом, играют в современной науке и технологии. <...> Большие успехи достигнуты в области применения ионных пучков для диагностики состава и структуры материалов и т.д. <...> Развитие новой области в ионно-пучковых технологиях, а именно, пучков кластерных ионов, началось около четверти века назад. <...> Кластер представляет собой ансамбль, содержащий от нескольких единиц до десятков тысяч атомов и молекул. <...> Промышленное применение пучков кластерных ионов активно не рассматривалось до тех пор, пока в начале 2000-х годов не было представлено Назаров Антон Викторович, младший научный сотрудник. <...> E-mail: av.nazarov@physics.msu.ru Статья поступила в редакцию 1 декабря 2016 г. © Назаров А. В., Черныш В. С., Ермаков Ю. А., Шемухин А. А., 2016 5 первое соответствующее коммерческое оборудование. <...> Изучение угловых распределений атомов, распылённых газовыми кластерными ионами, имеет большое значение как для понимания фундаментальных механизмов взаимодействия кластера с поверхностью твёрдого тела, так и для ряда практических приложений, таких как, например, сглаживание поверхностей. <...> Угловые распределения <...>