N 8 Для цитирования: Тетерук Д.В., Бормашов В.С., Тарелкин С.А., Корнилов Н.В., Лупарев Н.В., Кириченко А.Н. <...> Подавление синтеза алмаза на торцевой поверхности подложки в процессе газофазного осаждения. <...> For citation: Teteruk D.V., Bormashov V.S., Tarelkin S.A., Kornilov N.V., Luparev N.V., Kirichenko A.N. <...> Suppression of CVD diamond growth on side face of substrate in process of gas-phase precipitation. <...> УДК 548.55 Д.В. Тетерук, В.С. Бормашов, С.А. Тарелкин, Н.В. Корнилов, Н.В. Лупарев, А.Н. Кириченко Дмитрий Владимирович Тетерук ( ), Николай Владимирович Корнилов Лаборатория газофазного осаждения алмаза, Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, ул. <...> Центральная 7а, г. Москва, г. Троицк, Российская Федерация, 142190 E-mail: teterukd@gmail.com ( ), nvkor@bk.ru Виталий Сергеевич Бормашов, Сергей Александрович Терелкин, Николай Викторович Лупарев Лаборатория физический свойств наноструктур, Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, ул. <...> Центральная 7а, г. Москва, г. Троицк, Российская Федерация, 142190 E-mail: bormashov@bk.ru, sergey.tarelkin@gmail.com, luparev@gmail.com Алексей Николаевич Кириченко Лаборатория спектральных исследований, Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, ул. <...> Центральная 7а, г. Москва, г. Троицк, Российская Федерация, 142190 E-mail: akir73@mail.ru ПОДАВЛЕНИЕ СИНТЕЗА АЛМАЗА НА ТОРЦЕВОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ В ПРОЦЕССЕ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ В процессе газофазного осаждения алмаз растет на всех поверхностях подложки, в том числе и на торцевых. <...> Однако, осаждение алмаза на торцевых поверхностях может быть нежелательным для некоторых процессов и технологий. <...> Нами предложен и реализован метод подавления роста алмаза на торцевых поверхностях с помощью кремниевых колодцев. <...> Проведены исследования структурного качества получаемых алмазных пленок. <...> Ключевые слова: алмаз, газофазное осаждение алмаза, подавление роста алмаза 64 Изв. вузов. <...> Kirichenko ), Nikolay V. Kornilov Laboratory of CVD Diamond Growth, Federal State Budgetary Institution "Technological institute for superhard <...>