3; 546.256.82 А.К. Баев Алексей Кузьмич Баев Институт химии растворов им. <...> 1, Российская Федерация E-mail: alexeibaev@mail.ru ТЕРМИЧЕСКОЕ РАЗЛОЖЕНИЕ ТРИМЕТИЛИНДИЯ Изучено термическое разложение триметилиндия, установлены кинетические параметры, состав газообразных продуктов, предложен механизм протекающих реакций и определена энергия активации. <...> Key words: decomposition, trimethylindium, kinetics, gaseous products, reactions mechanism Основой технологии получения полупроводниковых материалов с высокими физикохимическими свойствами в низкотемпературной области является процесс разложения. <...> Успешному проведению процесса способствуют летучесть, стабильность и кинетические свойства соединений. <...> Наиболее удачным сочетанием этих свойств обладают метильные и этильные соединения [1-4]. <...> Органическим соединениям индия свойственно неблагоприятное соотношение этих свойств, поэтому изучение термораспада триэтил-, триизопропил- и триизобутилиндия провели в жидкой фазе, и было обосновано протекание процесса по радикальному механизму [5]. <...> Результатом изучения разложения триметил- и триэтилиндия в токе гелия явились установление температур начала процесса при 543 К и 550,5 К и в токе водорода при 550,5 и 503 К соответственно [6]. <...> По данным работы [2] разложение триметилиндия сопровождается образованием индия на поверхности реакционной камеры. <...> В токе водорода три30 метилиндий разлагается по гомогенному механизму с энергией активации 239,9 кДж/моль и в токе азота по гетерогенному механизму [4]. <...> Показано, что в токе толуола при низких температурах образуются полимеры (InCH3)n, и при повышенных температурах выделяется металлический индий [3]. <...> Существенным недостатком в системе установленных экспериментальных данных при выборе условий получения пленок металлического индия является отсутствие кинетических харакХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2016 том 59 вып. <...> Данное сообщение продолжает начатые ранее исследования триметил[8] и триэтилгаллия [9]. <...> ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ Изучение <...>