Контроль УДК 621.3.032 В. С. Волков, Д. А. Кудрявцева, И. Р. Вергазов СОВРЕМЕННЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДНЫМ СИГНАЛОМ V. <...> Рассмотрены конструктивные преимущества резонансных измерительных преобразователей механических величин и преобразователей давления с частотным выходным сигналом, выполненных с использованием МЭМС-технологий. <...> Показаны преимущества применения монокристаллического кремния в качестве материала для создания микромеханических резонаторов. <...> Проанализированы недостатки существующей конструкции резонансного преобразователя давления. <...> Рассмотрена усовершенствованная конструкция резонансного преобразователя давления с высокой стабильностью характеристик и повышенной чувствительностью. <...> Показана возможность снижения температурной погрешности датчика давления за счет применения частотного преобразователя сигнала мостовой измерительной схемы. <...> The constitutive advantages of MEMS-based resonant measuring transducers for mechanical quantities measurement and pressure transducers with frequency output signal are reviewed. <...> The disadvantages of existing resonant pressure transducer are analyzed and advanced design of resonant pressure transducer with high stability and increased sensitivity is analyzed. <...> Ключе в ые слова: МЭМС-технология, датчик давления, кремниевый резонансный преобразователь, тензорезистор, обратная связь, сила Лоренца. <...> Key words: MEMS technology, pressure sensor, silicone resonant transducer, strain gauge, feedback, temperature error, frequency output signal. <...> Широкое применение в информационно-измерительных системах получили преобразователи параметров датчиков в частоту. <...> Во-первых, при использовании частотных преобразователей открывается возможность достижения более высокой точности измерения, чем в преобразователях амплитуд сигналов. <...> Во-вторых, частотный сигнал обладает значительно более высокой помехоустойчивостью и малой чувствительностью к изменению параметров линий связи. <...> Одним из наиболее перспективных направлений создания частотных преобразователей параметров датчиков резистивного типа является построение их на основе <...>