Поволжский регион ЭЛЕКТРОНИКА, ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА И РАДИОТЕХНИКА УДК 681.518 И. А. Аверин, В. Е. Пауткин ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ПЕРВИЧНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ИНФОРМАЦИИ Аннотация. <...> Цель работы: анализ технологических особенностей формообразования кремниевых кристаллов акселерометров – элементов первичных преобразователей информации, выполненных на основе базовых МЭМС-технологий. <...> Применение монокристаллического кремния в качестве конструкционного материала при создании датчиков позволило вывести на качественно новый уровень технические характеристики приборов, получивших общее название МЭМС-датчиков. <...> Одними из наиболее распространенных приборов, выполненных по МЭМС-технологиям, являются микромеханические акселерометры емкостного и пьезорезисторного типа. <...> Кремниевые микромеханические акселерометры изготавливаются по технологиям поверхностной либо объемной микромеханики. <...> Показаны преимущества и недостатки рассмотренных технологий: поверхностная микрообработка позволяет формировать множество чувствительных элементов для создания акселерометров массового производства, а технологии объемной микрообработки менее производительны, но обеспечивают получение чувствительных элементов акселерометров с высокими выходными параметрами. <...> Преимущества чувствительного элемента, выполненного по технологии объемной микромеханики, заключаются в высоких метрологических и эксплуатационных характеристиках за счет большой величины инерционной массы по сравнению с чувствительными элементами, выполненными по технологии поверхностной микрообработки. <...> Отличительной особенностью чувствительных элементов пьезорезисторного типа по сравнению с емкостными является более сложный технологический процесс, обусловленный необходимостью формирования пьезорезисторов на поверхности упругих перемычек. <...> Выходные параметры МЭМС-приборов определяются <...>