УДК 539.043:621.382 НЕСТАЦИОНАРНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ГЛУБОКИХ УРОВНЕЙ С ВЫБОРОМ ПАРАМЕТРА РЕГУЛЯРИЗАЦИИ ПО L-КРИВОЙ М. Н. <...> Левин, А. В. Татаринцев, А. Э. Ахкубеков Воронежский государственный университет Предложено использовать подход L-кривой при выборе параметра регуляризации в методе Laplace-DLTS для исключения неконтролируемых ошибок и повышения достоверности получаемых результатов. <...> Возможности метода продемонстрированы численным анализом модельного релаксационного сигнала, содержащего три экспоненты с близкими значениями показателей и малую шумовую составляющую. <...> Показано, что предложенный вариант Laplace-DLTS с использованием L-кривой для выбора параметра регуляризации или LL-DLTS обладает большей надежностью по сравнению с методом Laplace-DLTS с выбором параметра регуляризации по невязке. <...> КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА: МОП структуры, спектроскопия, глубокие уровни, численный анализ, модельный релаксационный заряд, L-кривая, метод Laplace-DLTS. <...> Метод DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) является одним из основных методов, широко используемых для определения параметров дефектов, приводящих к возникновению глубоких уровней (ГУ) в запрещенной зоне полупроводникового материала. <...> Основной проблемой стандартного метода DLTS является недостаточная разрешающая способность, делающая практически невозможным разделение сигналов от нескольких близко расположенных глубоких уровней в запрещенной зоне полупроводниковой структуры. <...> Процесс релаксации в этом случае представляет собой сумму нескольких экспоненциальных процессов, входящих с разными весами: St C e tini i () В n == 1 где eni Eti . <...> Целью обработки сигнала DLTS является нахождение скоростей эмиссии для каждого ГУ и последующее получение параметров ГУ (сечения испускания и захвата, энергетического положения уровня, а также концентрации уровня) из измеряемых значений емкости (емкостный DLTS) или тока (токовый DLTS) [1]. <...> В работе [2] для повышения разрешающей способности было предложено использовать обратное преобразование <...>