ЭЛЕКТРОНИКА УДК 621.382.029.64 Попов В.В., канд. техн. наук, президент, ОАО «Светлана» МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК ПОЛУИЗОЛИРУЮЩЕГО КАРБИДА КРЕМНИЯ Проанализированы методы измерения удельного сопротивления подложек в диапазоне 105 ч1012 ОмЧсм. <...> Обсуждены достоинства и недостатки методов измерений с разрушающим и неразрушающим контролем. <...> Описан метод неразрушающего контроля удельного сопротивления подложек по определению времени рассасывания индуцированного заряда. <...> (Eng.), president, JSC «Svetlana» RESISTIVITY MEASURING TECHNIQUE OF THE SEMI-INSULATING SIC WAFERS In this article, the electrical resistivity measuring methods for resistivity region of 105 ч1012 OhmЧcm were analyzed. <...> ОАО «Светлана» разработало базовую технологию производства монокристаллов полуизолирующего карбида кремния политипа 6H-SiC и подложек диаметром три дюйма для СВЧ применений [1]. <...> Одним из важнейших вопросов обеспечения такого производства является контроль удельного сопротивления подложек в диапазоне 105 ч1012 ОмЧсм. <...> Для технологического контроля удельного сопротивления требуется выбрать метод измерений, который позволяет оперативно проводить измерения в процессе производства. <...> Удельное сопротивление подложек может быть определено с помощью методов разрушающего или неразрушающего контроля. <...> К разрушающим методам относятся: метод, основанный на измерении сопротивления R между двумя омическими контактами, изготовленными на подложке, а также метод измерения сопротивления между торцевыми омическими контактами на образцах, вырезанных из подложки, по ГОСТ 25948-83 [2]. <...> Для реализации первого метода необходимо предварительно изготовить омические контакты, расположенные друг напротив друга на лицевой и обратной стороне подложки с толщиной d, с одинаковой ISSN 0025-4568. <...> Удельное сопротивление тывается по формуле: эл . рассчи(1) На этом методе основана работа оборудования фирмы Keithley [3]. <...> Для измерения удельного сопротивления подложка помещается в термокамеру Keithley Model 8009 и на омические контакты на подложке <...>