УДК 546.681:546.817+546.87 гаЗочуВСТВИТЕлЬНоСТЬ СлаБолЕгИроВаННыХ СлоЕВ, ПолучЕННыХ окИСлЕНИЕМ gaas В ПрИСуТСТВИИ рbо И Bi2 П. к. <...> рембеза2 1 Воронежский государственный университет, Воронежский государственный технический университет поступила в редакцию 7.03.2008 г. рbО и Bi2 образцов. <...> На основе измерений электрических свойств установлен n-тип проводимости синтезированных материалов и исследовано влияние термических процессов на газочувствительные свойства тонких пленок, сформированных на Gaas под воздействием рbО и Bi2 аннотация. <...> Тонкие оксидные пленки синтезированы окислением арсенида галлия в присутствии O3 . <...> Методом рентгенофлуоресцентного анализа установлен элементный состав полученных зависимости концентрации носителей заряда. ключевые слова: оксиды, окисление, полупроводники, поверхность, тонкие пленки, диэлектO3 рики, гетерогенные реакции, кинетика, механизм abstract. thin oxide films are synthesized by oxidation of gallium arsenide surface at presence of рbО on the basis of measurements of electric properties the n-type of conductivity of the synthesized materials was established, influence of thermal processes on gas sensitivity properties of thin films was investigated, temperature dependences of concentration of carriers of a charge were obtained. layers, grown up under the influence of specified oxides, demonstrated reproduced temperature dependence of resistance, were thermally stable and they are of practical interest for the use as sensitive elements of semi-conductor gauges of gases. <...> Key words: oxides, oxidation, semiconductors, surface, thin films, dielectrics, heterogeneous reactions, kinetics, mechanism and Bi2 O3 ВВЕДЕНИЕ Химические сенсоры являются одним из наиболее эффективных инструментов диагностики окружающей среды, контроля физиологического состояния человека и качества продуктов питания. <...> В связи с этим интенсивно развиваются исследования, направленные на создание новых материалов, обладающих высокой селективной чувствительностью к определенному типу молекул. <...> Значительное внимание при этом традиционно уделяется фундаментальным представлениям о механизмах адсорбции и характере электронных свойств поверхности <...>