ХИМИЯ УДК 537.226 ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОМПОНЕНТОВ В ПРОЦЕССЕ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНКИ ТИТАНАТА ЖЕЛЕЗА НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ Н. Н. <...> Афонин, В. А. Логачева, Е. В. Бабушкина, Ю. В. Герасименко, А. М. Ховив Воронежский государственный университет Поступила в редакцию 30.11.2010 г. Аннотация. <...> Пленки титаната железа получали методом последовательного магнетронного расдирования в потоке кислорода при температуре 973 К. <...> Формирование титанатов железа состава Fe2 Ti3 O9 , FeTiO3 работка, метод вторично-ионной масс-спектрометрии, гетеродиффузия, силициды. <...> Структурные, электронные и магнитные свойпредставляют интерес для в структуре ильменита ства соединения FeTiO3 материаловедения. <...> FeTiO3 является широкозонным полупроводником с шириной запрещенной зоны 2.5 эВ [1] и используется © Афонин Н. Н., Логачева В. А., Бабушкина Е. В., Герасименко Ю. В., Ховив А. М., 2011 technique. <...> It has been established that process of iron and titanium layer-by-layer magnetron sputtering on silicon substrate was accompanied by heterodiffusion of components through interphase boundaries Fe/Ti and Ti/Si. <...> Fe2 Ti3 O6 пыления металлов Ti и Fe на монокристаллический кремний с последующим импульсной фотонной обработкой в вакууме, на воздухе и термооксидированием. <...> Распределения компонентов по глубине образцов исследовали методом вторично-ионной масс-спектрометрии, а фазообразование — методом рентгенофазового анализа. <...> Установлено, что процесс послойного магнетронного распыления железа и титана на кремний сопровождается гетеродиффузией компонентов через межфазные границы Fe/Ti и Ti/Si. <...> Импульсная фотонная обработка пленочной системы Fe—Ti в вакууме приводит к образованию силицида железа, а в атмосфере воздуха — к формированию оксидной пленки, состоящей из FeO и Ti3 происходит в процессе термооксидля производства различных многофункциональных устройств [2]. <...> Установлено, что для массивных образцах FeTiO3 FeTiO3 переход из фазы ильменита в фазу перовскита осуществляется при давлении выше 20 ГПа и комнатной температуре. <...> При увеличении давления до 40 ГПа наблюдается сосуществование <...>