48 52 УДК 542.943:548.75:546.56’821 Л.А. МАЛЕВСКАЯ, Е.С. ЛОГАЧЕВА, Д.М. ПРИБЫТКОВ, С.И. КАРПОВ ИКСПЕКТРОСКОПИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ТЕРМООКСИДИРОВАННЫХ СЛОЕВ Cu-Ti НА КРЕМНИИ © 2003 г. Л.А. Малевская, Е.С. Логачева, Д.М. Прибытков, С.И. Карпов Воронежский государственный университет Методом ИК-спектроскопии изучен состав пленок Cu-Ti на монокристаллическом эпитаксиальном кремнии. <...> Также показано наличие связей С-О в пленке Cu-Ti, которые не были определены методом РФА. <...> Присутствие связей С-О в пленке указывает на несовершенство метода приготовления и хранения пленок Cu-Ti. <...> Показана важность применения метода ИК-спектроскопии в изучении состава пленок Cu-Ti. <...> ВВЕДЕНИЕ ИКспектроскопия один из наиболее плодотворных современных физических методов исследования строения молекул все более широко применяется не только в органической, но и в неорганической химии. <...> ИКспектроскопия не позволяет провести полный анализ сложных гетерогенных систем, однако этот метод очень полезен в неорганическом анализе, особенно если его сочетать с эмиссионным анализом и рентгенографическим исследованием. <...> В настоящее время алюминиевая металлоразводка в технологии интегральных схем (ИС) заменяется на медную, поэтому все работы, связанные с исследованием термооксидирования тонких пленок меди и сплавов на ее основе, являются перспективными. <...> В работе [1] была изучена кинетика окисления пленок Cu-Ti с различным содержанием титана в широком диапазоне температур. <...> Показано, что титан существенно повышает температуру окисления меди. <...> В качестве основного метода исследования состава пленок после окисления использовали рентгенофазовый анализ (РФА). <...> При анализе результатов кинетических исследований и РФА возникли некоторые проблемы с идентификацией оксидов меди и титана. <...> МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА В качестве исходных подложек были использованы пластины монокристаллического кремния п-типа проводимости марки ЭКЭФ с удельным сопротивлением <...>