18 20 УДК 546.72:669 Е.Н. ВЕТРОВА, Э.А. ДОЛГОПОЛОВА ОКИСЛЕНИЕ И ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Ni-Fe © 2003 г. Е.Н. Ветрова, Э.А. Долгополова Воронежский государственный университет В работе описана методика получения тонких пленок твердых растворов Ni-Fe при малом содержании железа с последующим окислением их в атмосфере кислорода. <...> ВВЕДЕНИЕ Тонкие пленки широко используются в микроэлектронике, электронносчетной и криогенной технике, оптике и оптоэлектронике, в космической и атомной промышленности и других технических отраслях. <...> Многие практические приложения пленок основаны на специфике их свойств, существенно отличающиеся от характеристик тех же материалов в массивном состоянии. <...> Это создает возможности существенно улучшить физико-технические параметры материалов и приборов. <...> Однако особенности фазовых и структурных состояний вещества в тонких пленках создают большие технологические и эксплуатационные трудности, связанные, в частности, с недостаточной их воспроизводимостью, с возможной нестабильностью свойств во времени и т. д. <...> . Таким образом, возникает необходимость изучения фазового и структурного состояния вещества в тонкопленочном состоянии. <...> В данной работе будет предпринята попытка хотя бы частично решить этот вопрос на примере тонкой пленки Ni-Fe вблизи чистого компонента (никеля). <...> МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА Необходимые для исследования железо-никелеевые пленки получали метододом магнетронного напыления в атмосфере аргона на модернизированной установке УВН-2М [2]. <...> Использование этого способа напыления пленок позволило получить образцы, характеризующиеся высокой степенью однородности, что было доказано измерением оптических параметров Ψ и ∆ по всей поверхности пластины, за исключением 1см от края, который не используется в дальнейшем эксперименте. <...> Эллипсометрические измерения проводили на лазерном эллипсометре ЛЭФ-3М-1 [3]. <...> В качестве подложки <...>