27 ПРИМЕНЕНИЕ ФРАКТАЛЬНОГО ПОДХОДА К ОПИСАНИЮ МИКРОСТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ АНОДНЫХ ОКСИДОВ ТАНТАЛА И. А. <...> Попова, А. Е. Гриднев, В. И. Кукуев, Е. А. Тутов, М. С. Мельникова Воронежский государственный университет Поступила в редакцию 14.11.2011 г. Аннотация. <...> Методами растровой электронной микроскопии и мультифрактальной параметризации исследовано влияние деформации кручения танталовой подложки на микроструктуру поверхности анодных оксидных пленок. <...> Получены канонические мультифрактальные спектры при различных величинах деформации подложки, показана эффективность применения мультифрактального описания микроструктуры поверхности. <...> Ключевые слова: фрактал, микроструктура поверхности, мультифрактальная параметризация, анодные оксидные пленки Annotation. <...> The eff ect of torsional deformation of tantalum substrate on surface microstructure of anodic oxide fi lms was analyzed by scanning electron microscopy and multifractal parameterization methods. <...> Canonical multifractal spectra at diff erent values of the deformation of the substrate were obtained, the eff ectiveness of the multifractal description for the surface microstructure has been shown. <...> Key words: fractal, surface microstructure, multifractal parametrization, the anodic oxide fi lms ВВЕДЕНИЕ Характеристики анодных оксидных пленок во многом зависят от их микроструктуры, параметры которой определяются как условиями формирования покрытий (электрическим режимом, температурой, составом и концентрацией электролита), так и состоянием анодируемой поверхности. <...> Для оксидных пленок в процессе их роста характерно зарождение и развитие протяженных мезодефектов различной природы, наличие которых определяет кинетику поведения неравновесной системы [1]. <...> В настоящей работе исследовалось влияние предварительной деформации анодируемой подложки на параметры микроструктуры поверхности получаемых оксидных покрытий. <...> Растровая электронная микроскопия (РЭМ), традиционно используемая для наблюдения поверхности покрытий, не позволяет дать точное количественное описание возникающих структур, особенно в случае их нерегулярности, равно как и установить количественную взаимосвязь <...>