ВЕСТНИК ВГУ, Серия физика, математика, 2003, ¹ 1 Светлой памяти Виктора Васильевича Крячко Навсегда ушел Виктор Васильевич Крячко
Такое чувство утраты я испытывал, только когда уходили близкие родственники люди, которых любил я, и которые любили меня, люди, к которым я обращался в тяжелые минуты, когда они были живы и к памяти которых я буду обращаться, пока живу сам. <...> Мне посчастливилось общаться с Виктором Васильевичем более тридцати лет. <...> Безо всяких аллегорий, Виктор Васильевич остается нашим соавтором. <...> Однако приходит время, когда вещи должны быть названы своими именами, а долги отданы. <...> 1 мая 2003 Марк Левин УДК 621.315.592 МЕТОД КРЯЧКО: ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАРЯДОВОГО СОСТОЯНИЯ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА ДИЭЛЕКТРИКПОЛУПРОВОДНИК © 2003 В. В. Крячко , В. В. Будко, М. Н. Левин, А. В. Татаринцев Воронежский государственный университет Представлен бесконтактный способ определения зарядового состояния границы раздела диэлектрик-полупроводник (эффективного заряда в диэлектрике и энергетического спектра поверхностных состояний), названный соавторами методом Крячко по имени его основного разработчика. <...> Введение Зарядовое состояние границы раздела диэлектрикполупроводник (ДП), под которым, прежде всего, понимается фиксированный заряд в диэлектрике и энергетическое распределение плотности поверхностных состояний (ПС) по ширине запрещенной зоны полупроводника, прямым образом определяет параметры базовых элементов интегральных схем. <...> Разработка и совершенствование методов контроля зарядового состояния границы ДП всегда было и продолжает быть необходимым условием развития микроэлектроники. <...> 53 Проблемы исследования границы раздела ДП в структуре металлдиэлектрикполупроводник (МДП) были успешно решены методами емкостной спектроскопии, основными из которых считаются метод Термана высокочастотных (ВЧ) вольт-фарадных характеристик (ВФХ) [1], метод НиколлеанаГоетсбергера полной проводимости [2] и метод Берглунда <...>