№ 3 УДК 548.523.001.57:621.315.592 DOI: 10.17213/0321-2653-2015-3-108-114 ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ С ЗАДАННОЙ СУБСТРУКТУРОЙ В ГРАДИЕНТНОМ ТЕПЛОВОМ ПОЛЕ PHYSICAL BASES OF THE SEMICONDUCTOR MATERIALS FORMATION PROCESSES OF OF WITH THE SET SUBSTRUCTURE IN THE GRADIENT THERMAL FIELD 2015 г. В.Н. Лозовский, Б.М. Середин, В.А. Благин, В.В. Ануфриева, А.А. Баранник, М.Л. Лунина Лозовский Владимир Николаевич – д-р физ.-мат. наук, профессор, кафедра «Нанотехнология в электронике», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова, г. Новочеркасск, Россия. <...> E-mail: seredinboris@gmail.com Благин Вячеслав Анатольевич – студент магистратуры по направлению «Техническая физика», Национальный исследовательский университет (МЭИ), г. Москва, Россия. <...> E-mail: Fizika236-npi@mail.ru Seredin Boris Mikhailovich – Candidate of Technical Sciences, assistant professor, department «Physics», Platov SouthRussian State Polytechnic University (NPI), Novocherkassk, Russia. <...> E-mail: seredinboris@gmail.com Blagin Vyacheslav Anatoliyevich – magistracy student in the Technical Physics direction of National Research University «Moscow Power Institute», Moscow, Russia. <...> E-mail: Fizika236-npi@mail.ru Barannik Aleksey Anatoliyevich – Candidate of Technical Sciences, assistant professor, department «Physics and microelectronics», Volgodonsk Technical Institute – National Research Nuclear University branch, Volgodonsk, Russia. <...> E-mail: Fizika236-npi@mail.ru Осуществлен анализ особенностей процесса термомиграции жидких зон в кристалле для формирования полупроводниковых материалов с заданной субструктурой, в сравнении с методом диффузии. <...> Учтены главные факторы, определяющие и сопровождающие процесс термомиграции жидкого включения в кристалле. <...> Выявлены и описаны геометрические, концентрационные, температурновременные и другие условия, при которых выбор эффекта термомиграции в качестве метода локального легирования предпочтителен. <...> Показано, что метод термомиграции обладает значительными преимуществами, в частности, возможностями снижения температуры процесса легирования, увеличения его скорости, повышения однородности распределения легирующей примеси и улучшает кристаллическое совершенство легированных слоёв. <...> № 3 In work the analysis of process features of liquid zones <...>