№ 5 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ЭЛЕМЕНТЫ УДК 621.315.548.55 МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И СВОЙСТВА ПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ИНДИЯ И ГАЛЛИЯ 2014 г. А.В. Благин, В.А. Благин, С.Н. Ващенко, М.Л. Лунина, И.А. Сысоев Благин Анатолий Вячеславович – д-р физ.-мат. наук, профессор, зав. кафедрой «Физика», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова. <...> E-mail: bla_gin@mail.ru Благин Вячеслав Анатольевич – студент, Московский энергетический университет, Институт тепловой и атомной энергетики. <...> eianpisia@yandex.ru Обсуждаются результаты исследований морфологии поверхности многокомпонентных эпитаксиальных слоев соединений А3В5, выращенных при различных условиях градиентной жидкофазной эпитаксии. <...> Устновлены основные параметры, определяющие качество поверхности и структурное совершенство многокомпонентных гетероструктур соединений А3В5: градиент температуры, состав раствора-расплава, величина переохлаждения, согласование параметров решетки и КТР слоя и подложки, ориентация подложки. <...> Ключевые слова: полупроводниковые структуры; арсенид галлия (индия); антимонид галлия (индия); градиентная жидкофазная эпитаксия; морфология поверхности. <...> Введение Привлекательность многокомпонентных гетероструктур на основе соединений А3В5 обусловлена возможностью независимого управления энергией запрещенной зоны, периодом кристаллической решетки и коэффициентом термического расширения (КТР) 84 [1, 2]. <...> Указанные возможности открывают принципиально новые перспективы для создания оптоэлектронных гетероструктур, в особенности, в инфракрасном диапазоне. <...> СЕВЕРО-КАВКАЗСКИЙ РЕГИОН. двигают в число актуальных проблем разработку новых методов получения гетероструктур и приборов на их основе. <...> Одним из самых перспективных и экономически целесообразных методов является метод градиентной жидкофазной эпитаксии (ГЖЭ) [4, 5]. <...> В настоящей работе осуществлен анализ качества <...>