Прикладная физика, 2016, № 5 ФОТОЭЛЕКТРОНИКА УДК 621.383.4/5:621.315.59 Дефекты гибридизации матричных фоточувствительных элементов и схем считывания Н. А. Иродов, К. О. Болтарь, П. В. Власов, А. А. Лопухин Представлены результаты исследований индиевых микроконтактов на кристаллах БИС считывания и матричных фоточувствительных элементов после их гибридизации и последующей расстыковки, зависимости усилия отрыва от площади микроконтактов, а также вероятность появления дефектов БИС считывания после гибридизации. <...> Индиевые микроконтакты на кристаллах БИС считывания изготовлены по технологии ионного травления, на кристаллах МФЧЭ методом химического травления. <...> Исследованы фотоприемники форматов 320 256 с шагом 30 мкм и 640 512 с шагом 15 мкм на основе антимонида индия. <...> Rv Ключевые слова: матричный фотоприемник, гибридизация, индиевые микроконтакты, матричный фоточувствительный элемент, БИС считывания. <...> Введение микроконтактами из-за сильного расплющивания индия; Гибридизация является одной из важнейших операций изготовления матричных фотоприемников (МФП) [1—3]. <...> При гибридизации кристаллов БИС считывания и матричных фоточувствительных элементов (МФЧЭ) методом перевернутого монтажа индиевые микроконтакты выполняются, как правило, в виде квадратных площадок, причем с практически одинаковыми геометрическими размерами для обоих кристаллов. <...> Основными проблемами во время гибридизации БИС считывания и МФЧЭ являются: отрыв микроконтактов, связанный с недостаточным усилием гибридизации или неровностями рельефа на поверхности МФЧЭ; передавливание индиевых микроконтактов и, как следствие, закоротка между соседними Иродов Никита Александрович, инженер 2 кат1. <...> Статья поступила в редакцию 3 октября 2016 г. © Иродов Н. А., Болтарь К. О., Власов П. В., Лопухин А. А., 2016 закоротка между соседними микроконтактами, возникающая из-за больших габаритов индиевых микроконтактов и маленького расстояния между контактами; дефекты <...>