Теплофизика и аэромеханика, 2016, том 23, № 5 УДК 621.793 Экспериментальное исследование холодного газодинамического напыления за маской. <...> Часть 1* С.В. Клинков, В.Ф. Косарев, Н.С. Ряшин, В.С. Шикалов Институт теоретической и прикладной механики им. <...> С.А. Христиановича СО РАН, Новосибирск E-mail: vkos@itam.nsc.ru В работе представлены экспериментальные результаты по изучению образования покрытия при холодном газодинамическом напылении за маской с поперечным размером 0,3−1 мм, расположенной на различных расстояниях от подложки. <...> Получены образцы покрытий и измерены их профили в окрестности затененной области на поверхности преграды. <...> На примере напыления порошков алюминия и меди показано, что для получения четкой зоны без покрытия маска должна располагаться на расстоянии от подложки менее предельного, определяемого параметрами напыления. <...> Наиболее четкая граница маскированной зоны получается при минимальном расстоянии установки маски, которое зависит, в первую очередь, от толщины покрытия. <...> В зависимости от параметров напыления с увеличением дистанции установки маски может наблюдаться как монотонное уменьшение ширины маскированной зоны, так и ее увеличение на некоторых дистанциях. <...> Экспериментальные данные могут быть обобщены нормировкой на поперечный размер маски при прочих равных условиях. <...> Ключевые слова: холодное газодинамическое напыление, маска, профиль покрытия, ширина маскированной зоны. <...> Введение Растущий спрос на надежные силовые полупроводниковые модули высокой мощности заставляет искать новые методы получения электропроводящих покрытий на подложках из керамических материалов, например, оксида и нитрида алюминия. <...> Альтернативным методом получения медных покрытий для силовых полупроводниковых модулей ⎯ покрытий с высокими адгезией [1−3], электрои теплопроводностью [4, 5] ⎯ может стать холодное газодинамическое напыление (ХГН) [6]. <...> © Клинков С.В., Косарев В.Ф., Ряшин Н.С., Шикалов В.С., 2016 765 Клинков <...>